二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 918331-002 #293665158 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 918331-002是一款设计用于高精度大气处理的光刻设备。该系统基于等离子体的技术有助于实现最佳清洁水平，同时避免污染。这种光致抗蚀剂装置能够进行先进的RIE（反应性离子蚀刻），能够有效地去除光致抗蚀剂和其他相关材料。其简单的操作机器非常方便用户，便于监测操作参数。其高端设计实现了均匀蚀刻,并精确控制了材料的物理特性,如宽度和厚度均匀性以及长宽比控制。它还提供了可变压力范围和改进的真空环境。在室内，压力降低到两个大气水平。它的高频射频发生器允许电能传输到腔室。这项技术与惰性气体（如氙气或氮气）兼容，用于等离子体合成。先进的波管理控制为稳定的等离子体提供了必要的动力。光刻工具最多可用两个晶片操作,并具有一致的均匀蚀刻.蚀刻工艺精密、均匀。可从低功率操作到高压循环，达到不同的蚀刻效果。它对电压的高度控制确保了蚀刻以最小的方差完成。该资产的设计效率很高,并提供全面的监控功能来帮助操作员。其可变压力范围允许更大的灵活性，在需要时降低压力，在不同蚀刻要求需要时增加压力。该型号还配备了运动控制机构，帮助优化维护并提供更好的性能。FSI 918331-002光刻设备的独特设计是一系列先进蚀刻工艺的理想选择。其出色的性能、效率和用户友好的系统使其成为满足各种蚀刻需求的理想解决方桉。