二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #293652980 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES CX是一款设计用于半导体制造工艺的光刻设备。该系统利用离子植入、化学蚀刻和自旋涂层的原理，确保各种材料上的最高质量的光刻胶层。该单元包括一个精确的离子植入器，将离子植入光刻胶层中，以创建预定的图样。创建的图样称为转移蚀刻图样,然后使用光刻胶本身创建所需的遮罩层。然后将这一保护层蚀刻到许多材料基板上以创建结构。机器中包括旋转涂层应用，以确保光刻胶均匀分布在基板上。此过程在高质量、温度控制的环境中进行,以确保最高的精度。FSI Antares CX提供了广泛的工具改编,以满足任何客户规范。该资产具有可选的附加设备以及用于扩展其功能的支持组件。这包括额外的精密铁箔、高密度离子束系统和电子束系统，这些系统旨在为各种应用提供最高水平的精度和控制。为了提高吞吐量,该模型包括自动化功能,旨在减少完成光刻胶处理所需的时间,并提高其整体精度。设备还包括多种操作模式，可以针对不同的工作和任务进行调整。TEL Antares CX是任何半导体制造工艺的理想光刻系统,可提供一致和可靠的结果,同时提高吞吐量和提高质量。单位设计也可针对个别使用者需求进行自订。
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