二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9169544 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES CX是专门为微电子器件的蚀刻和图样设计的光刻设备。该系统将光掩蔽技术与亚波长分辨率光刻技术相结合，创造出紧凑复杂的器件结构。该装置的核心采用激光和光致抗蚀剂，它们是对光敏感的材料。当暴露于激光的正确波长时，光刻胶会反应并蚀刻微小的图样到基板上。光致抗蚀剂由步进级进一步支撑，步进级是一种精密的机械组件，它允许基板在X-Y-Z方向上移动，以使光致抗蚀剂完全对齐以进行图样化。FSI Antares CX允许极高的精度。它具有绘制亚波长形状和图样的能力，小至25 nm，是创建先进微电子结构的理想之选。机器中使用的激光器还能够进行地形测量，因此很容易进行非常详细的蚀刻。另外，该工具能够进行双曝光光刻，在两个电路元件之间创建导电桥的存在。TEL Antares CX还配备了一个名为"Sortimos"的软件组件，可以处理光束扫描、光刻胶处理和图样制作的整个过程。该软件能够自动控制激光扫描速率、激光功率和曝光时间，以获得最准确、一致的结果。该软件还能够帮助用户确定各种光刻胶类型的适当曝光时间,从而大大简化工作流程。总而言之，Antares CX是为微米级器件结构蚀刻设计的高度先进的光刻资产。它利用激光器、光致抗蚀剂和精确的机械位移来精确绘制小至25nm的复杂结构。"Sortimos"软件有助于确保整个过程的准确性和一致性，使得TOKYO ELECTRON Antares CX成为微饱和化和设备结构创建的最佳选择。