二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9234274 待售
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ID: 9234274
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Cryokinetic cleaning system, 12"
Main body
System resource module
(2) Process modules
(3) Load ports
PC Unit
A-Box
FFU Cover
2005 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES CX是一款先进的光刻设备，旨在提供光刻工艺的卓越性能。它是微电子工业的宝贵工具，能够实现电子元件的高端微制造。FSI Antares CX系统由几个组件组成，这些组件协同工作以曝光高清晰度光刻光刻材料。该装置的核心是发光二极管（LED）模式发生器，它负责生成制造的高精度模式。LED模式生成器由用户定义的数据驱动,从而可以创建许多不同的模式。LED图样发生器连接到投影光学组件,该组件负责将成像光投射到光刻材料表面上。这种光学组件设计用于将光均匀地分散在整个表面，并且可以调整以分散不同的波长。为了获得最佳收率,光敏材料应与工程图像精确对齐.为了实现这一点，TEL Antares CX机将自动对齐能力整合到其设计中。这使得工具能够自动将光刻胶材料与投影图像对齐，每次都提供一致的结果。最后，TOKYO ELECTRON ANTARES CX资产被设计为最大的速度和效率，使投影光学器件能快速扫描整个光刻材料，以更快的模式制造。这是通过高容量的洁净室模型实现的，它减少了空气中颗粒的数量，从而提高了光刻结果的质量。总之，AntaresCX是一个完整的光刻设备，旨在实现卓越的电子元件制造。它提供了对成像光的动态控制、自动对准能力和高容量的洁净室系统，以实现最高的效率。
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