二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9302856 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES是专门为集成电路和其他微电产品的生产级加工而设计的光刻设备。光刻系统的设计是为了在光刻过程中提供更高的精度和高重复性。光敏材料是一种对电子束发射的能量有反应的光敏材料。当暴露在光线下时，它会发生化学反应，改变其物理性质，产生电阻层，使设计的某些部分受到影响。FSI Antares设备利用先进的高分辨率光刻技术,确保无缝图像传输和设备层的高产图样。TEL Antares机器采用自动端到端控制工具,可确保精确的过程控制。该资产具有动态模式化操作功能,允许高速生成高质量的抵抗模式,并具有陡峭的侧壁,这对于实现高收益至关重要。模型的另一个特点是能够精确控制暴露模式的线宽到1/4微米的分辨率。此功能还允许精确的悬垂控制,以实现最佳的侧壁平面度和闸门轮廓。此外，TOKYO ELECTRON ANTARES设备具有广泛的工艺支持，包括温度监测和电阻测量，允许对所有沉积和蚀刻工艺进行高级控制。该系统还提供灵活的加载模板和晶圆映射功能,以实现精确的边到边沉积,从而允许在整个晶圆上进行精确的特征复制。Antares光敏装置已被许多寻求为其产品生产高质量、一致的器件的主要半导体公司采用。先进的控制机器和对细节的关注允许更高效的制造过程，允许更高的产量和稳定的，可重复的设备特性。