二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9399583 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES设备是一种高精度的光刻光刻系统,旨在实现先进的半导体器件制造。这一单元利用先进的技术，使前沿设备生产在半导体制造。FSI Antares机器配备了扩展聚焦深度（EDoF）功能，允许在600mm x 600mm面板内生产复杂的图桉。凭借其高精度的光学工作距离，TEL Antares工具能够实现0.5 μ m的工艺分辨率，这是生产先进异结晶体管和集成电路所必需的。TOKYO ELECTRON ANTARES资产的核心是其先进的光阻技术。该模型采用独特的光学和化学方法相结合，以确保对光刻涂层工艺的精确控制。支持多种光致抗蚀剂化学，包括KF（硅氧烷基）和PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）。此外，Antares设备能够快速、准确地将光敏涂层的厚度调整到精确的规格。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES系统除了提供精确的光刻技术外,还为用户提供了一系列先进的功能,以确保完整和精确的光刻工艺。这包括先进的曝光时间控制、照明功率水平和衍射受限聚焦控制。此外，FSI Antares单元与一系列不同的材料兼容，包括石英、铝、硅、聚酰亚胺等。精确的光刻技术、先进的控制特性和广泛的材料相结合，使得TEL Antares机成为半导体器件生产的理想平台。此工具可用于产生各种复杂的阵列,并且非常适合于产生小几何形状,例如5 nm晶体管。此外,TOKYO ELECTRON Antares资产使用户能够对其光刻工艺进行微调,从而能够高精度地制造尖端设备组件。总之，Antares模型是一种高精度光刻光刻设备，为生产尖端半导体器件提供了一系列先进的特点。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES系统具有精确的光致抗蚀剂控制和广泛的相容材料,非常适合产生具有小几何形状和复杂结构的复杂图样。