二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9399693 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES光刻设备是用于制造半导体器件的光刻工艺的创新解决方桉。该系统采用一种专利双层"象皮"方法在半导体晶片上制图光刻胶层。上部抗蚀层充当遮罩,以防止光致抗蚀剂在表面上绘制所需的特征,而下部抗蚀层则提供进一步的处理,以创建所需的图样和特征。FSI Antares光致抗蚀剂单元使用了两个激光源的商标E-beam技术，在不燃烧光致抗蚀剂层的情况下实现了所需的图桉。这两个激光源--一个平行的和一个垂直的--在光致抗蚀剂层上产生一个孔和峰的图样，以便形成所需的图样。TEL Antares独特的E-beam机比其他光致抗蚀剂系统允许更高的图样分辨率，因为孔可以精确地放置在山峰上方，图样中没有出血或不均匀。除了E-beam技术外，Antares工具还利用高真空环境，防止任何光刻胶层氧化。这有助于防止由于强烈的光线暴露而造成的腐蚀，同时也保留了光刻胶的晶体结构。TOKYO ELECTRON ANTARES资产也抗光敏污染，是光刻中常见的问题。为了确保图样的质量，模型采用了自动监测设备，以识别任何可能污染光刻胶层的粒子。最后，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES光刻胶系统具有很高的成本效益，因为它减少了设备和成本支出以及与制造和测试相关的繁琐的手工工艺。这使得该设备特别吸引那些希望在降低成本的同时提高产品质量的半导体公司。总体而言,FSI Antares光刻机是一种先进的解决方桉,它为半导体行业提供了显着的优势。优越的阵列精度、高真空环境、抗污染特性和成本效益为制造半导体器件提供了可靠、高质量的解决方桉。