二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Atlas #57163 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Atlas是一种下一代的光致抗蚀剂设备，设计用于在半导体晶片上创建纳米级图样。它为流程控制提供了一套全面的功能，同时具备成像后和预处理活动的能力。该系统配备了一个高端的照片成像工具，将光暴露在光刻层上，从而在半导体晶片上形成图样。它在360 nm至800 nm的波长下起作用，可以调整以匹配不同抗蚀剂和光刻过程的特性。照片图像工具能够达到0.2 μ米以下的分辨率。该单元还包含一个具有主动稳定功能的晶片级，这是实现所需纳米精度的关键特征。晶片级支持一系列晶片尺寸和厚度，并且能够像激光掩模书写这样的快速迭代过程。FSI Atlas配备了高速机器人，能够以高吞吐量执行流程步骤。它包括微处理头，可用于精确修改晶片上的图样。它还具有保证抗蚀层清洁稳定发展的高端抗蚀剂管理能力。这还允许远程监视流程参数,帮助确保快速解决流程问题。该机还具有高效的化学管理技术，可用于精确控制光刻胶的涂层和开发。这种化学管理工具有助于减少产生缺陷芯片的数量。此外,资产还与制造执行模型集成在一起,该模型可用于长期监控整个抵抗过程。总体而言，TEL Atlas是为半导体晶片的高精度纳米级制造而设计的先进光阻设备。它为预处理和后成像过程提供了强大的功能,允许用户安全可靠地创建和修改模式。