二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP #9233650 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP是由FSI International、TEL和Lam Research开发的高性能光刻设备。它是一个自动化的过程解决方桉,旨在提供出色的胶卷存放效果、较小的占地面积和最大的灵活性。该系统利用调节的硝酸蒸气输送装置将光敏材料喷洒到晶片上。然后将晶片曝光并加工成紫外线光源。该机采用"双"腔室布局设计，这意味着该工具采用两个真空腔室。前室容纳大量真空压力，用于将光敏材料保持在最佳状态后再分散在晶片上。该腔室还用于曝光前晶片的预处理。后室用于暴露于紫外线光源。这个腔室还配备了多个墨盒，因此可以同时处理多个晶片。土星MP资产能够提供出色的厚度均匀性、灵活性和快速响应时间。它还配备了多种过程控制，用于即时调整。加热室的温度可达650°C，模型可安装等离子体蚀刻室，以增加工艺灵活性。集成工具旨在减少总体处理时间-高达70%。超低阻尼特性可以在最小振动和最小干扰的情况下进行动态过程调整。其监控/报警设备提供系统健康和性能的实时报告。土星MP单元还具有先进的可选功能，如集成的多晶片装载机或机械臂，或车载气体输送和回收机。此外,集成配方工具允许灵活存储最多15种不同的工艺配方,只需按一下按钮即可访问这些配方。总之,FSI Carts for Saturn MP资产是一种智能设计的自动化过程解决方桉,可提供出色的胶片存放效果、较小的占地面积和最大的灵活性。它是任何光刻胶设计者的强大工具。