二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON / DESPATCH CT200 #9355258 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON/DESPATCH CT200 Photoresist Equipment是一种光化学处理系统,主要用于硅片制造过程中的精密工艺控制。它设计用于将光刻胶处理步骤集成到单个单元中，以实现卓越的性能。机器使用光刻技术将感光化学物质沉积到基板上，然后将其暴露在光源下，在涂层中形成图样。然后可以根据最终设备的需要开发、蚀刻或清洗此模式。FSI CT200具有独特的双室工具,可最大程度地精确控制工艺参数。该工艺室用于进行光致抗蚀剂工艺，而转移室则用于在不受污染的腔室之间移动基板。该资产能够将光刻胶薄膜沉积和暴露在从紫外线到红外线的波长范围内。该模型配有一个传感器，用于监测工艺温度和压力，从而实现准确和可重复的结果。设备还配备了数据记录器，以提供过程数据的永久记录。光刻胶系统可用于高精度沉积和曝光感光膜，非常适合用于半导体器件制造、光刻、光刻、抗氧化和先进包装等各种半导体工艺。该设备还配备了一台计算机控制机器，可以为特定流程生成配方，从而提高质量保证和更高的吞吐量。软件包能够管理流程参数、实时监控流程温度、设置报警和记录数据。对于希望高效生产高精度器件的半导体制造商来说，TEL CT200光刻工具是一个极好的选择。资产的高精度、可重复性和自动化控制功能使其适合用于各种流程应用程序。