二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON / DESPATCH CT200 #9355259 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON/DESPATCH CT200是一种高性能、精密工程的光刻设备。该系统旨在满足各种半导体市场先进的光刻要求，为制造甚至最精密的半导体元件提供超精密化学加工平台。FSI CT200利用多种专有技术生成真空风扇或自旋光刻胶图样。这一单元结合了非接触式直写方法和微编造技术，让用户即使在纳米级上也能创造出错综复杂、极其细致的特征。这台机器配备了一个高度复杂的机器人控制工具，它指导所有流程组件，以及各种可以针对不同应用程序定制的软件设置。TEL CT200使用高分辨率图像扫描仪和高速模式移动资产,以最大10um分辨率在抗蚀剂上实现超精确的模式写入。用户可编程的焦点和曝光设置可以适应每个应用程序的特定要求。该模型还能够打印连续或分段的图样。CT200采用真空构架预处理基板并管理放置和对准过程。它可以一次处理多达4英寸的基板，光学深度为1.5。该设备允许20毫秒的标准曝光时间,每小时最多可打印2,000张图像。DESPATCH CT200旨在满足各种半导体生产工艺的严格要求。优越的性能和精确的控制使得该系统成为复杂光刻应用的绝佳选择。