二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Excalibur ISR #293760314 待售

FSI EXCALIBUR ISR是一个世界级的光刻系统，旨在满足最先进的光刻工艺和应用的需求。这个先进的系统扩大了光刻加工的应用范围，将光刻带入数字成像和光子学的世界。EXCALIBUR ISR是针对中型和大批量生产环境而设计的。它采用高性能扫描仪构建,具有48位色深、7秒周期时间和500个项目/分钟的处理率。一个集成的微分配系统允许贴花操作具有纳米升精度和可重复性。集成的Roll-to-Roll（R2R）网络传输还允许无缝处理大卷光刻胶。为了实现一致和创造性的模式,FSI EXCALIBUR ISR配备了许多软件驱动功能。其中包括作业编辑器、模式库、可变点大小（VDS）功能和模式转换（PT）工具。工作编辑器可以轻松调整光刻过程中的值和设置。Pattern库为常用的光刻胶工艺提供现成的作业。VDS工具允许工程师在过程中对阵列大小和形状进行快速而精确的更改。最后,PT工具允许模式自动调整到目标区域大小。EXCALIBUR ISR允许最先进的光刻工艺快速准确地完成。凭借其先进的功能、强大的处理器和敏捷的Web传输,它为复杂、高速和高精度的光刻过程提供了理想的平台。总体而言,FSI EXCALIBUR ISR是光刻工具箱中必不可少的工具,可让高级光刻机应用程序以优异的性能和准确性完成。