二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON EXCALIBUR #9137323 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON EXCALIBUR是一款光刻设备，设计用于创建分辨率高达100 nm的高精度图像。它能够产生数字和模拟格式的快速、高分辨率图像。该系统由四个主要组成部分组成：一个曝光单元、一个电动级、一个腔室和一个光刻单元。曝光机包括用于将衍射光对准基板的照明源、用于制造均匀照明的抖动电机、用于控制光强度的百叶窗以及用于聚焦光束的光学透镜。机动化级负责在腔室周围移动基板，以定位暴露区域。腔室用来制造真空，在加工基板时允许高精度。光刻胶单元提供了应用图像不同层所用光刻胶的正确化学成分。该工具的工作原理是将基板放置在电动舞台上，并将基板在照明源下移动到芯片上需要暴露的不同点。通过控制曝光源，照亮图像区域，激活光刻胶中的化学物质。然后将基板移动到下一点,并重复相同的过程。光致抗蚀剂中的化学物质对来自曝光源的光产生反应，在基板上形成一层，之后成为图像。一旦过程完成，基材就被移到腔室进行开发，其中包括用必要的化学品纺丝和冲洗基材的机器。这有助于洗去多余的光致抗蚀剂，留下一个干净和高分辨率的图像。FSI EXCALIBUR资产适用于先进的光刻工艺,用于创建数字和模拟格式的高精度和高质量图像。它利用先进的机动化舞台功能最大限度地提高图像的准确性,并确保输出具有尽可能高的质量。它还能够快速加工基板，允许在短时间内大量生产。该模型旨在为用户提供可靠、高性能的光刻胶解决方桉。