二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON HELIOS 52 #293640333 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON HELIOS 52是半导体工业中用于光刻的光刻设备。用于开发和曝光光刻材料和绝缘膜。该机器提供任何现代设计要求所必需的准确可靠的成像和抗蚀剂。FSI HELIOS 52采用高性能多成像级,可确保稳定的光学性能,并为改进制造工艺提供广泛的成像精度。该系统由两台电机组成，一台步进电机和一台检流计镜。精密步进电机控制精细的直列式位移，而检流计控制快速的平面内运动。光学范围由5倍物镜组成，可在1英寸晶圆上实现高达1.15微米的高分辨率成像。专用的低失真镜笼可以达到更高的精度水平。TEL HELIOS 52还具有一个温度控制的湿度室，该室的设计目的是将抵抗温度、湿度和暴露条件保持在恒定的水平，这对于光刻操作尤为重要。它还包括一个扫描仪位置检测器，用于更精细的定位和对准成像平面。机器使用干极2组分化学加工单元蚀刻光刻材料，然后冲洗光刻材料以去除加工残留物。这台机器专为需要高覆盖精度和短吞吐量时间的过程而设计。它还配备了自动抗蚀剂处理卡带、干膜显影剂卡带和曝光卡带，以减少停机时间和加载时间。HELIOS 52能够通过持续控制薄膜均匀性，以高通量、高精度和高产量的方式可靠地曝光不同的图样。前沿光刻机专为半导体工业而设计，适用于前沿器件生产。它的特点使得它成为那些寻求有效、可靠和精确成像工具的人的绝佳选择。