二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K100 #9099908 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K100是FSI，Ltd.开发的光刻设备，利用先进的曝光和成像技术，进行广泛的精密光刻工艺。该系统设计用于IC制造应用，包括先进的3D互连、微机电系统（MEMS）、照片成像等高精度任务。FSI K100单元由三个主要组件组成：曝光机、曝光控制器和成像工具。曝光资产用于向基板上的特定区域输送精确数量的超细曝光辐射。安装在微米机械手上，曝光模型能够对曝光参数进行非常精确的控制。此外,曝光设备还包括可调整的大视场（FOV）,以适合基板形状,从而实现极其精确的图像配准。曝光控制器由一系列用于控制曝光过程的高级图像处理算法组成。这些算法旨在优化曝光设置,以确保高质量的结果和最低的瓦特使用量。此外,曝光控制器设计为与成像系统协同工作,以帮助确保准确性和更快的吞吐量。成像单元设计用于检测像素响应时间为纳秒的超高分辨率图像。这样就可以以最小的图像失真检测到非常精细的特征。此外,成像机还包括一种干净的成像方法,用于避免图像伪影出现重迭特征。TEL K 100的光刻工具旨在提供高度精确和可重现的光刻工艺。这包括对图像进行对齐和成像仪处理,以高效、经济的制造所需的速度生成高分辨率图像。此外，K100资产能够使用广泛的基材，包括聚酰亚胺、硅和玻璃，使其用途非常广泛，适合许多不同的应用。总体而言，TOKYO ELECTRON K100光刻剂模型是一种非常先进的光刻设备，其先进的部件允许精确准确地控制曝光参数，同时最大限度地减少能源消耗。该系统设计精良,可用于IC制造应用,其先进的成像设备可用于检测超高分辨率图像,且图像失真最小。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K100光刻机具有优异的性能，适用于各种基材。