二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K150 #293624501 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K150 Photoresist Equipment是为半导体生产中的高精度光刻工艺而设计的自动化装置。用于对各层薄薄的基板进行超细细节的物理图样，采用石英、硅、聚酰亚胺等多种材料。该系统采用4个光学级、一个精密扫描级和一个高功率激光单元，以精确精确地绘制一个精确的特征。第一光学级配备佳能20倍显微镜和5相机照相机，用于精确监测和测量。此阶段还提供所有成像组件的对齐检查。安装在机械臂上的第二个光学级包含一个变焦镜头和一个图桉镜子，以确保精确的成像。长焦距物镜安装在第三光学级，提供基板的放大视图，并允许记录甚至最小的细节。最后，第四光学级容纳了一个大功率的紫外线光源，一个支撑基板的铸造基板，以及多种定位器和执行器来精确地引导激光束。FSI K150 Photoresist Asset的控制工具负责自动化成像过程，包括内置多媒体子模型和高级传感器，用于高级检查和测量。该设备还能够使用各种通信协议,以便与外部设备轻松集成。用户友好的图形界面允许用户配置系统、设置参数和规范以及监控设备性能。TEL K150 Photoresist Machine还包括一个自我诊断程序,它可以检测和报告任何故障,必要时可立即采取纠正措施。该工具能够对大小在0.1到1微米之间的特征进行阵列设计,精度为+/-5 nm,分辨率为1-10 nm。其高级部件和机制确保了长期耐用和一致的操作。K150 Photoresist Asset的高质量成像工具、精确和受控的过程以及卓越的自动化,使其成为高级和苛刻的光刻工作的理想解决方桉。