二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i #9358787 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i是为高精度图样应用而设计的光刻设备。该系统能够将微观结构压印到具有亚微米分辨率的基板上。集成单元包括等离子体增强化学气相沉积室（PECVD）、自旋涂层和用于优化产品应用过程步骤的曝光头。PECVD腔室用于在硅片、蓝宝石晶片、陶瓷基板等基板上沉积光刻级光刻涂层。自旋涂层用于优化抗蚀剂涂层在基板上的均匀分散，以确保涂层光滑均匀。曝光头同时使用"步进重复"和"步进扫描"功能，将高分辨率（小于1微米）的光掩模图桉传递到涂层基板上。这台高度敏感的机器能够分辨出小于0.25微米的特性,同时确保宽广区域的均匀性。除了旋转涂层和曝光头，该工具还包括一个自动化的轨道和模具资产，它允许在工艺线上快速转换。模型中集成的软件为用户提供了对图像数据和高级模式识别功能的访问权限。此功能使设备能够识别光掩模上的光刻胶图样,并将其精确传输到涂层基板上。FSI Lithius Pro V-i光刻胶系统易于设置和使用,具有业界领先的设计、安全和过程自动化功能。单位的所有组成部分质量最高，确保可靠和一致的结果。它的精确度、速度、可扩展性、灵活性和低成本使其成为最苛刻的光刻应用的理想机器。