二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #192650 待售

FSI MERCURY MP是一款高性能的数字光刻设备,旨在在生产环境中提供可靠、可重复的性能。该系统具有经过验证的高分辨率光学成像源和先进的精密微图样过程控制算法。它非常适合超细线在先进半导体器件制造中的应用。该单元的分辨率为千分之一微米或更高，可以处理精密衬里间距为五微米或以上的多层，以获得优越的图像质量。它采用FSI专有的通用模式发生器（UPG）技术和专利工艺控制算法，具有先进的高分辨率光学成像源。集成机器执行聚焦离子束（FIB）对齐和阵列,使用户能够在多层上实现均匀的线宽和间距。该工具还具有优化、集成的工艺配方,可在所有类型的基板上提供最佳效果。它具有集成的高规格光学器件,能够以高长宽比和小于成像波长的特性对设备进行阵列化。该资产还提供多种冲洗选项、防反射涂层以及一系列适合特定工艺要求的屏蔽材料。MERCURY MP旨在最大限度地提高产量并最小化循环时间。该模型的设计和维护达到最高质量标准，采用集成传感器和数据记录工具，以确保跟踪所有事故和操作参数。它还包括各种车载工艺配方。该设备提供了用于流程监控的综合软件套件,该套件随每一个新版本一起更新,以确保与最新技术的兼容性。这与先进的硬件监控、反馈系统和智能的分步过程优化算法相结合，最大限度地提高了质量控制和可重复性。总体而言,FSI MERCURY MP为高精度光刻胶应用提供了全面、精密的解决方桉。它旨在在生产环境中提供可靠、可重复的性能,同时最大限度地提高产量并缩短上市时间。