二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293587873 待售
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已售出
ID: 293587873
Spray cleaning system
PFA Turntable, 8"
(2) Canister consoles:
Console 1: H2SO4, HCL, Dilute HF
Console 2: H2O2, NH4OH
Frame
Valves
Tube
Canisters
Spray post
Flow meters:
Gas / SCCM
H2SO4 / 200-2000 SCCM
HCL / 20-500 SCCM
Dilute HF / 100-2000 SCCM
H2O2 / 20-500 SCCM
NH4OH / 20-500 SCCM
DI Mix / 200-2500 SCCM
(2) Drains: N/O, N/C, drain valves
Dual exhaust
Control system with touchscreen, 15"
FSI Helios 52 DI Water heater with touchscreen, 5"
IR Heater
Operating system: Windows 10 IoT.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MP是一种顶级的光阻设备，设计用于制造半导体器件的光掩模。FSI Mercury MP采用先进的激光光刻技术来进行精密的工艺操作和精确的曝光控制，从而能够以极高的分辨率生产光掩模。TEL Mercury MP采用本地SEMI曝光和计量标准,确保可靠的性能和生产质量最高的光掩模。该系统设计的可靠性和易操作性，具有符合人体工程学的操作控制台和图形用户界面，能够快速设置和操作。TOKYO ELECTRON Mercury MP使用两个或三个曝光激光器进行双曝光能力和增强曝光控制。该单元具有具有覆盖能力的HDTV对齐机,可确保每个光掩模步骤的精确对齐。该工具还提供了一种非接触式计量能力，允许对成像参数进行校准和模式检查。此外，MercuryMP还具有先进的光束诊断资产，可对激光光束性能进行高度详细的测量。该模型通过纠正与激光照射相关的成像像差和其他变量，提高了产量。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MP具有前所未有的焦点和景深，使得它在比传统光刻系统大得多的区域上创造出精细的图桉。这使得能够快速、可靠地生产出超大规模和复杂的光掩模。FSI Mercury MP是光刻胶系统的标兵。它结合了尖端激光光刻技术和精确控制，以最高效的方式提供了最高质量的光掩模。这使得TEL Mercury MP成为任何需要生产精确控制光掩码的应用的理想选择。
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