二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293595917 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是设计用于在半导体、微电子和其他基板上生产高精度图样的光刻设备。MP是一种单平台、高通量、全自动的解决方桉,能够以无与伦比的可重复性和准确性生产细线和3D光刻胶图桉。该系统由真空负载锁定室、可编程对准单元和可编程自旋涂层机构组成。这台机器配备了用于高精度注册的数字成像工具和用于曝光的基于LED的光源。真空负载锁室确保了清洁的资产环境，并允许工具交换，而不需要大气压。可编程对齐模型使基板能够自动放置和对齐工艺室。自旋涂层机构设计用于从基板的中心到边缘应用厚度一致、膜均匀的光刻胶薄膜。数字成像设备具有高精度配准功能，可自动测量、对准和定位基板和抗蚀剂。它允许注册精度小于0.5um。LED光源以不同的角度和曝光时间将背光和黑光分开，给曝光时间更大的灵活性，允许以更高的精度和准确度重复曝光。MP具有足够的柔韧性，可以容纳各种光刻材料，设计用于定位不同厚度的基板。该系统设计用于减少每个给定区域的灰尘、污染物和颗粒，并可用于一系列光致抗蚀剂过程，如负性和加性过程。简而言之,FSI Mercury MP是一款用途广泛的光致抗蚀剂设备,可提供可靠的生产,具有高水平的可重复性、精确度和准确性。它是一个具有高吞吐量功能的单平台解决方桉,可提供最大的多功能性和灵活性。