二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293622268 待售

FSI MERCURY MP光致抗蚀剂设备是由Ferro-Software Instruments（FSI）生产的生产规模机器。该系统设计为制造高度精确的几何结构，在纳米水平上具有非常严格的公差。它能够产生尺寸从5nm到150 μ m不等的功能,具体取决于所需的应用程序。机器带有一个标准的抗蚀剂加工室，允许抗蚀剂在暴露于光致抗蚀剂之前用所需的图桉旋转涂层。抗蚀剂曝光室配有两个激光腹泻阵列和一个可移动孔径，以便使用可变孔径曝光单元对抗蚀剂进行精确曝光。暴露过程确保暴露的抗蚀剂是均匀的，从而提供一致的结果。暴露后，抗蚀剂在机器的固化室中固化。固化过程对于确保抗蚀剂保持其结构完整性和与基板的粘附是必不可少的。MERCURY MP机具有用于固化过程的集成专用加热单元，以确保整个抗蚀剂均匀暴露。该装置还有一个自动除阻和冲洗站。除去暴露的抗蚀剂后，用去离子水和抗蚀剂去除剂组合冲洗抗蚀剂，以确保基板上的表面清洁无渣。自动冲洗站还配备了一个直列真空工具，用来抽取残留的化学品。最后，FSI MERCURY MP附有一个标准的扫描电子显微镜（SEM），允许目视检查图样底物。此附加工具可用于评估基板的质量,以确保在继续下一阶段的工艺之前不存在缺陷。总体而言，MERCURY MP是一种高度精确的、生产规模的光致抗蚀剂资产，能够在纳米水平上产生高度精确的几何结构。它旨在保持严格的公差,以最小的缺陷产生一致的结果。