二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9207075 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是一种设计用于制造半导体器件的光阻设备。该系统由一个主处理器单元、一个数字控制子系统和一个液体和气体处理臂组成。主处理器单元有一个集成的软件，为用户控制其光刻过程提供了灵活性。它提供了广泛的光致抗蚀剂工艺，如制图、接触抗蚀剂开发和蚀刻，允许生产高度精确和可靠的半导体器件。数字控制子系统具有VME总线和图形用户界面来管理设备。它配置有快速采集单元、驱动器和实时控制功能。控制工具的灵活性允许用户实时调整参数和监控过程。液体和气体处理臂负责将光刻胶溶液输送到半导体器件表面。它配备了高性能的喷嘴资产，可以将光刻胶精确分布在装置表面。喷嘴模型具有可变的压力梯度喷嘴，可实现光刻胶的智能分布。此外,喷嘴还配有一个电弧套件,用于将喷嘴与设备表面对齐。FSI Mercury MP专为安全高效的操作和维护而设计。该系统配有开关保护装置,可防止设备意外打开或关闭。此外,如果发现任何异常情况,系统会自动关闭。该装置以低功耗运行，设计用于低粉尘运行。TEL Mercury MP设计用于制造产量极好的高精密半导体器件。它具有灵活的数字控制子系统和高效的液体和气体处理臂，使机器能够在广泛的生产过程中使用。它的低功耗和低粉尘操作使其成为半导体行业的一个有吸引力的选择。