二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9217485 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是专门为制造半导体器件而设计的自动化光刻设备。该系统采用最新技术对感光材料进行强烈紫外线固化，在基板的整个表面形成一层经过蚀刻的成品材料。该装置非常适合制造高性能微电子、纳米技术和光电子。FSI Mercury MP机利用专利的高分辨率图像投影方法，通过所需的感光材料图样传递紫外线。这与微光刻相结合，在图像投影的每个循环中创造出纳米大小的特征。然后，投影图像被转移到基板上，并用高强度紫外线固化。这一过程允许将光刻和激光图样的精确组合用于微米尺度特征和纳米尺度特征。提供比单独的手工工艺或光刻更好的准确性和可重复性。该工具包括一个步进/扫描仪，用于精确测量紫外线照射，因为它通过面罩和到基板。步进/扫描仪与多区温度控制陶瓷加热器紧密结合。这样可以在一次无缝操作中对不同的材料进行精确、可重复和精确的固化。因此，高分辨率图像投影，结合温度和湿度的精确控制，大大提高了生产周期时间，同时保持了很高的产品产量。TEL Mercury MP资产除了具有光致抗蚀剂处理能力外，还可用于超细光刻应用的高真空工具室。该腔室装有高真空低温恒温器，能够达到-25°C的温度，用于光敏材料的快速固化。这样可以在微电子和纳米电子产品的生产中获得尽可能高的分辨率。Mercury MP模型旨在适应大型基板的加工。它能够同时处理多达三个基板，并且设备提供了一种在组件之间传输过程和基板信息的自动化手段。这样可以提供更大的灵活性和更好的生产周期时间。总体而言，TOKYO ELECTRON Mercury MP光刻胶系统是生产先进微电子和光电子的绝佳工具。随附的硬件和软件提供了先进的技术、准确性和可重复性,从而实现了高效的制造过程。