二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9243803 待售

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP
已售出
ID: 9243803
System.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是一款设计用于半导体制造的高性能光敏设备。该系统的设计允许在设备制造过程中应用所需的精确平版印刷模式。光致抗蚀剂系统允许在晶片基板上创建图样化设计,方法是将光敏化学物质暴露于图样化光源。FSI Mercury MP是各种光致抗蚀剂工艺的理想选择,包括正负抗蚀剂,以及密集复杂的模式。该单元提供了一系列功能,以确保最高水平的精度和性能,包括超高分辨率的扫描头,先进的光子检测,和脉冲压缩。脉冲激光源的波长范围为400至800纳米,用于精确和可重复的图样。TEL Mercury MP机还具有多级模式识别功能,使其能够在广泛的基板上实现均匀性和精度。该工具配有易于使用的图形用户界面,允许快速设置和操作。此外,该资产还提供数据分析和图形迭加功能,使用户能够准确评估其流程的结果。MercuryMP的设计目的是实现快速生产,非常适合大批量生产.此外,该模型还具有保护敏感部件和降低热损坏风险的热特性。该设备还设计为高度可靠,具有全自动监控和诊断系统,以确保最佳性能和低故障率。总体而言,TOKYO ELECTRON Mercury MP是光刻工艺的理想单元,提供先进的特性和可靠的性能。该机器具有多层次识别、高分辨率扫描头以及自动监控和诊断功能,非常适合实现任何半导体制造过程所需的平版印刷模式。
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