二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9269944 待售

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP
已售出
ID: 9269944
晶圆大小: 6"
Spray cleaning system, 6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是一种为过程控制和优化而设计的光致抗蚀剂设备。用于制造电子器件,广泛用于半导体行业。FSI Mercury MP是一个自动化的抗蚀剂剥离系统,使用光和化学两种方法来实现一致的、高分辨率的光刻结果。它利用先进的设计来实现可定制的抗蚀层曝光控制和优化。使用大功率红外灯进行光刻过程,利用短波长光来清除抗蚀层。光线强度受到仔细监控,并且可以调整到广泛的数值范围,以达到所需的光刻结果。这种能力还有助于最大限度地减少抵抗过度暴露或过度暴露的风险,以及其他与光致抗蚀剂有关的问题。TEL Mercury MP还配备了先进的化学洗涤装置。这台机器的设计目的是有效去除抗蚀层的裸露部分,只留下需要形成的部分。这是通过将化学溶液引入腔室并将其淹没在工件上来完成的。最后,Mercury MP提供了一个软件套件,该套件旨在优化抵抗过程。它可以用来分析来自光刻工具的数据,调整光强度和监控整个过程步骤。这样可以在制造过程中实现更大的控制和灵活性,并在抵抗剥离过程中实现更快的循环时间。TOKYO ELECTRON MERCURY MP是一种高效可靠的光刻材料,产生了巨大的成果。与市场上的其他系统相比,它的高级设计提供了更好的控制、更好的分辨率和更高的效率。其自动化特性也使其成为工业光刻的绝佳选择。此模型具有可靠的结果、易于使用的控制和软件,是需要可靠、经济高效解决方桉的公司的理想选择。
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