二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9271639 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是由FSI与TEL Tokyo Electronics合作开发的光阻设备。它是一种高通量的工具，用于通过曝光晶片上的光致抗蚀层来在半导体晶片上实现所需的模式。它具有很高的性能和准确性，使其成为产生多种模式的强大系统。该装置设有曝光机、晶圆预处理工具、曝光后烘烤资产和跟踪模型。曝光设备采用激光曝光源，能够产生强烈的曝光图，以及自动视觉系统，能够将曝光图准确地置于晶圆的光敏层上。这样可以确保所产生的图样具有很高的准确性和高精度。晶片预处理装置有一个自动化的自旋-漂洗-烘干机循环，结合了清洁、漂洗和干燥步骤，以确保晶片在暴露前没有污染物。曝光后烘焙机提供光刻层的均匀高温烘烤，是成像性能良好所必需的。最后,跟踪工具提供最高级别的装卸性能,其机械和电气系统旨在确保安全、高效和可重复的结果。该资产的占地面积很小,但容量却很大,这使其成为紧凑型处理设备的经济高效解决方桉。该模型的特点结合了强大的性能、精度和吞吐量,非常适合在半导体晶片上产生多种模式。设备操作方便，可集成到现有的半导体制造工艺中。