二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9274762 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MP是一种"光刻"设备，设计用于实现尺寸小于100 nm的器件的超精细阵列。FSI Mercury MP可以通过多种方式来完成这种精密的制图，包括电子束光刻、X射线光刻、离子束光刻、直接激光光刻和纳米印记光刻。该系统采用G线 248nm和I线 365nm超细光刻透镜，提供最大线宽13.5nm的高分辨率。此外，还采用数字束强度控制装置对电子束进行精确控制，以实现高精度图样，提高生产过程中的覆盖精度。为了进行图像优化，TEL Mercury MP采用了精密的双点成像技术，允许使用两个不同图样的图像。为了确保高吞吐量,TOKYO ELECTRON Mercury MP具有图像、参数和掩码数据的高级集成管理功能。这使技术人员能够在生产现场无缝访问这些信息。机器允许控制工艺条件，以精确控制光刻工艺。这包括温度、湿度、颗粒控制和空气清洁，可以逐机调节，全部实时监控。除了精确的制图能力外，Mercury MP还通过其全自动制造过程提供无可挑剔的设备集成。这样可以精确控制光刻、蚀刻、加载和掩蔽过程,从而实现高产、高精度的设备生产。此外，过程控制由机载高级控制单元辅助，可以即时调整生产。归根结底,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP工具旨在以最高的分辨率和准确性生产超精细设备尺寸,使技术人员能够以可靠、一致和高效的方式制造客户所需的设备。这种光刻资产是先进设备制造的宝贵工具。