二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281725 待售

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ID: 9281725
Spray cleaning systems PFA Turntable, 8" (2) Booster pumps Dual exhaust rinse box IR Chemical heater (5) Chemical tanks (2) Chemical consoles Chemicals used: HF, H2O2, HCl, HNO3, H2SO4 Helios DI-heater: 52kW.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是一种具有先进设计的光刻设备,可显着提高半导体制造工艺的分辨率、速度和性能。该系统配备了先进的扫描装置,能够在直径达200毫米的晶片上对光刻胶进行直接成像。它还包含一个高精度的机器人手臂,用于在基板上精确放置和去除光刻胶。该机配有电动级和隔振工具,用于晶圆的精确定位和控制。该资产旨在通过严格的过程控制和精确的基板定位提供精确的结果。它为成像和照明设备使用高分辨率的数字光学模型,能够对光刻胶进行精确成像。这种数字光学系统还为精确的制造过程提供精确、可重复的曝光。该装置采用自动装载机,以确保在基板上连续精确的光阻载荷。该工具还包括一个独特的灯和头,在基板上产生一个均匀的图样,并确保精确的光敏应用。精确、可重复曝光和精确的光刻胶加载过程允许快速和精确的功能跨越不同的晶片。资产还具有先进的安全功能,如隔离系统和辐射吸收器,以确保安全和可靠的光刻工艺。该型号由功能强大的专用驱动设备提供动力,可确保在制造过程中精确的位置和速度控制。它配备了一系列控制和诊断工具,能够对光刻胶进行精确和可重复的处理。该系统配备了各种参数和数据集成的控制系统,从而能够对过程进行精确和可重复的控制。总体而言,FSI Mercury MP光刻装置是一台功能强大且可靠的机器,可提高生产效率、精度和过程控制。该工具性能卓越,是半导体制造工艺的绝佳选择。它配备了一系列的特点和安全特点,以确保一个安全和精确的制造过程。
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