二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281852 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MP Photoresist Equipment是为满足最高光刻要求而开发的高性能、多功能的掩模对准器。FSI Mercury MP融合了广泛的功能，包括带状处理材料的机制、支持两种基板的平台、自动聚焦和厚度控制、节能干光源、高精度扫描和自动后处理功能。TEL Mercury MP配备了原始的"高精度突起传感器"，实现了高精度和快速测量。使用的光源是波长为436 nm的He-Cd激光器。干光源支持高功率输出和低能耗,并支持光刻过程的快速、精确对准。TOKYO ELECTRON MERCURY MP也支持带形材料处理的一级或两级光刻工艺。Mercury MP包括一个可以支持两种基板的平台，能够同时对准和透厚测量。使用的扫描仪是一种高精度的线性交流伺服电动机，使可重复分辨率达到0.5 µm。它的表面扫描精度也是0.1 µm，点状的精度对准也是0.2 µm。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP也有边缘着色、扫描和浓度调节等自动化处理。面罩对准器的框架设计为保证操作方便，底架设计为防止振动。此外，FSI Mercury MP支持其他子系统的集成，使得能够用于全自动光刻应用。TEL Mercury MP是一个用户友好且先进的系统，满足广泛的应用。优化用于平板显示器、太阳能电池、MEMS、IC代工厂等多个行业。此设备专为高生产率和一致性能而设计。该机配备了方便的用户界面、强大的内置测量功能以及额外的数据处理功能，以增强用户体验。此外，TOKYO ELECTRON MERCURY MP的设计符合环境法规，尽量减少光污染和静电发电。该工具提供可靠的测量和快速、精确的对准，使其成为光刻的理想资产。