二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9299003 待售

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP
ID: 9299003
晶圆大小: 6"
Spray cleaning system, 6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP光刻设备是一种先进的光刻工具,设计用于电子器件元件的处理。该系统由步进器、多轴级和光刻胶组成,能够以高度精确和均匀的方式对各种设备表面的电路进行阵列化。步进器是单元的核心,允许辐射源提供光致抗蚀剂材料的曝光。辐射源是汞蒸气灯,拥有其他步进系统前所未有的超高强度输出。它还配备了光学器件,使其能够在统一的基础上精确成像重复模式。光刻机中使用的多轴级可以让元件在曝光时容易且精确地重新定位。这保证了在一个广泛的区域统一的图样,允许一个定制的光刻过程。此外,该工具能够准确地遵循复杂的设计规则,使其能够匹配甚至复杂的标线形状。在FSI MercuryMP光刻胶资产中使用的光刻胶材料是为优异的均匀性和分辨率而设计的。它具有很高的耐用性和抗曝光损坏的能力,并且在所有聚焦级别均提供卓越的图像分辨率。通过将这种材料与步进和多轴级相结合,模型能够产生具有卓越清晰度和细线宽度的图像。综上所述,TEL Mercury MP光致抗蚀剂设备是生产电子元件的高度可靠和通用的工具。其步进、多轴级、光刻胶提供卓越的性能和精度,使其成为各种光刻应用的理想选择。
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