二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9399075 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP光致抗蚀剂系统是一种高效可靠的系统，用于半导体制造过程中的晶片处理。它利用两级抗蚀剂涂层工艺在基板上形成一层高均匀的薄膜。这种薄膜成为晶片进一步加工的基础，对于最终产品的精度和可靠性至关重要。FSI Mercury MP在第一层抗蚀剂涂层之前对晶片使用标准加热级。这样可以确保表面温度对于涂层工艺是最佳的。接下来，一个专门的自旋喷头在基板表面分配一层均匀的抗蚀剂。然后在烤箱内烘烤这层薄膜，将抗蚀剂粘合到基材上。第二个抗蚀剂涂层可以使用第二个旋转喷头或可移动面板模块执行。根据使用的抗蚀剂的类型，可能需要不同的烘烤温度，以确保抗蚀剂棒正确。第二层抗蚀性涂层完成后，再对基板表面施加一层能量。这种能量使抗蚀剂对静态电荷产生反应，产生一种模式，可用于晶圆的进一步处理。TEL Mercury MP是一种高效的光刻胶应用过程，产生可靠的结果。该系统利用最新技术，确保抗蚀剂准确地放置在基板上，达到产品的最高质量。这使得工艺可靠，是生产半导体元件的理想选择。