二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9015074 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC光刻胶设备是一种化学涂层系统，设计用于对光刻工艺中的超薄或微米厚的光刻胶层进行精确控制。通过将高精度的薄膜涂层与精确的均匀抗蚀剂相结合，实现了无与伦比的精度和可重复性。该机配备精密薄膜涂层工具，可控制1.2nm以下的薄层厚度。它还采用了三种独特的薄膜涂层技术：阻力法、射流滴法和直接分配法，提高了涂层的精度和均匀性。该资产还具有精确精确的均匀抗蚀剂,可实现可重现的抗蚀剂层厚度。此模型能够创建非常窄的线宽,这对于高级设备制造过程至关重要。FSI Mercury OC光刻胶设备配备了强大的软件包，提供直观的控制和过程监控能力。该软件允许用户快速定义涂层算法,从而确保缩短产品的上市时间。该软件还包括一个可选的网络连接，为用户提供远程监控功能。这样就可以在不同的流程步骤以及远程设备诊断和维护之间共享数据。该系统还通过遵守行业标准协议提供了集成的可追踪性。此功能允许跟踪和记录流程参数,使操作员能够轻松检索数据、改进流程数据并维护法规遵从性。TEL Mercury OC光致抗蚀剂装置具有很高的可靠性和抗变质性能.它强大而可靠，能够处理各种复杂的微电路处理应用，使其成为光刻过程中不可或缺的一部分。