二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9220294 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC是一种光刻设备，设计用于在多种基板上进行先进的光刻工艺。光致抗蚀剂是一种在光照下发生化学变化的材料。该技术被用于半导体器件制造、印刷、医疗器件制造等多个行业。FSI水星OC系统是FSI金星深紫外光刻平台的延伸。它是专为满足亚四分之一微米IC生产中光刻工艺的独特需求而开发的。该单元结合了高效的曝光胶片规划技术、先进的运动控制和超高分辨率（低至1 µm）的图样设计功能。该机器配备了先进、精密的晶片卡盘和可靠的光源，能够在大面积上提供非常集中和一致的曝光。这样可以确保曝光过程准确无误,并具有最小的误差和伪影。TEL Mercury OC工具还采用了高度敏感和可靠的光掩模光刻资产，以便将复杂的图样精确地转移到抗蚀剂上。该模型能够精确操纵各种抗蚀剂材料，如正负抗蚀剂、有机无机抗蚀剂以及干湿蚀刻抗蚀剂。它还可以容纳各种厚度和照明,提供精确、微调的曝光。汞OC设备还提供了关键维度方面的灵活性，从而实现了广泛的关键维度。这种能力对于精确的图样设计至关重要,因为提供的曝光深度和管理关键尺寸的能力对于高性能光刻工艺至关重要。该技术还提供了优越的过程控制，通过使用先进的过程监控机制，结合精确的微观定位系统来实现。这样可以确保曝光过程平稳运行,并在高速和高屈服的情况下实现所需的精确模式。最后，该机组还配备了先进的自动化技术，允许可靠、低成本和高批量的生产运行。此外,它还配备了直观的用户界面,使其易于使用,并且需要最少的培训和设置时间。总之，TOKYO ELECTRON MERCURY OC光刻机是一种高度先进的光刻工具，可实现精确、高产、低成本的高速生产。它提供卓越的工艺控制、关键尺寸的灵活性和精确的曝光,使其成为几乎所有行业中光刻的宝贵工具。