二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233116 待售

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ID: 9233116
晶圆大小: 5"
Spray processor, 5" Single cassette, 8" Diameter, 14" A192-81M 25WH Rotor, 8" Fed from central chemical distribution set up No separate chemical carts with chemical canisters.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC是一种光致抗蚀剂设备,设计用于提供晶圆表面的高精度和可重复成像。它是一种单列扫描仪,具有步进和扫描仪运动控制系统,使它能够在晶圆上创建高度精确的模式。步进器和扫描仪的运动控制单元使得精确定位和弹出光刻胶成为可能。该机器还具有高分辨率光学成像工具和集成视觉资产,使其能够快速准确地检查其图样是否有错误。该模型设计用于使用多种光敏材料,包括正负光敏材料。它可以产生分辨率高达0.1微米的图像,使其产生极小且错综复杂的图桉。该设备还配备了一个自动清洁系统,帮助保持抵抗材料无杂乱。这样可以使设备保持峰值效率运行,并确保阵列的生成一致且准确。除了成像功能外,该机器还提供其他功能,以帮助简化晶圆的制造过程。它有一个集成的图像传感器,使它能够在晶圆表面上注册图样。它还具有获得专利的"自动图像检查"功能,即使在高分辨率级别也能确保一致的阵列化结果。FSI Mercury OC设计用于先进工艺技术。适用于半导体、MEMS和纳米级制造工艺。它非常适合原型设计和生产高度复杂的结构,其特征小至0.1微米。该工具也适用于创建下一代电子元件,如多级MEMS和NEMS结构。资产方便用户,操作方便,融合了先进的运动控制和图像处理技术。它基于最新的计算机软件平台,与所有常见的光刻材料兼容。该模型还提供了长期投资,其持久可靠的机械使其成为寻求有效和经济高效解决其晶圆制造需求的公司的理想选择。
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