二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233651 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY OC光致抗蚀剂设备是一种高精度的工具，用于将精确尺寸和精确应用的材料层层沉积在指定基板上，以便凹陷或主动成形表面。该系统适用于MEMS、半导体和相关行业内各种微制造程序的研发和试点规模制造。FSI Mercury OC单元的标准功能是用光刻胶材料精确涂覆基板，并使用接触曝光工具或机器中发现的直接串行书写工具精确定义光刻胶图桉的图桉或轮廓。光致抗蚀剂沉积工艺通常用于电子电路制造和光电器件生产或原型制作。接触曝光工具负责创建由工具中使用的预定义标线确定的精确成像模式。根据所使用的标线,可以创建更高性能的阵列,从而实现高级功能,如更大的长宽比、非矩形形状、3D微结构和更细的线宽。TEL Mercury OC使用的直接串行写入过程是调制整个扫描表面的曝光能量，以实现不同的成像模式用于胶片图样。Mercury OC资产的整体性能能力通过使用涡轮泵真空模型得到进一步增强，该模型允许卓越的沉积均匀性、更高的工艺速度以及对薄膜厚度的精确控制。此外，TOKYO ELECTRON Mercury OC还拥有一个冷却设备和湿度控制，允许更精确和可重复的过程。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY OC光致抗蚀剂单元作为一种综合光致抗蚀剂系统，为多个行业提供高精度的制图能力。该机专为高性能能效和精密图样设计，使其成为制造MEMS、半导体和光电器件的领先选择。