二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233652 待售

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ID: 9233652
晶圆大小: 5"
Spray processor, 5" Single cassette, 5" Diameter, 14" A182-50MB Rotor / Turntable 5" Fed from central chemical distribution set up No separate chemical carts with chemical canisters.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC是一种光致抗蚀剂设备,设计用于在晶圆上产生高分辨率电路模式。它是一个高端系统,使电路设计者能够利用最新的光学器件和舞台以极高的精度制作图样。该单元特别适合于生产音高更紧、公差更紧的较小部件。FSI Mercury OC是采用最新技术在晶圆上产生极高分辨率模式的高端机器。它利用高效电子束,可以聚焦到微观尺寸,几乎不会损失分辨率。这使它能够编写极小的音高大小和紧密公差的复杂模式。它还具有一个舞台,即使在最小的特征上也能实现很大的分辨率。在光学方面,TEL Mercury OC利用了强大的光学工具,使资产能够产生非常小的斑点大小的图桉。这意味着即使在最错综复杂的电路设计上,模型仍然可以产生尺寸范围广泛的模式,从极小的微观模式到大型的复杂特征模式。该设备的光学器件还利用激光级提高了分辨率和可靠性。这种类型的舞台可以让系统精确放置每一个特征,减少出现缺陷的机会,节省时间。此外,高端光学设备还提供了更好的输出控制和更好的吞吐量。最后,Mercury OC使用计算机控制的过程控制器,以确保最精确的模式放置。这样可以确保所有图桉都能准确可靠地打印,不会出错。总体而言,TOKYO ELECTRON Mercury OC是在晶圆上生产高分辨率电路模式的强大可靠单元。它利用先进的光学机器和尖端工艺,以确保生产的图样质量和精度最高。这些技术与计算机控制的过程控制器相结合,以确保最准确可靠的模式放置。
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