二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233654 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC是使用微处理器控制的旋转蒸发源的光刻设备。该系统提供可靠的光刻胶分布，允许比传统系统更精确的沉积。它利用真空单元将微米薄的光刻胶层蒸发到基板上。蒸发源安装在旋转平台上，并包含在真空室中。蒸发器包含一个受控的热能来源，能够将温度提高到235 °C。然后将蒸发源纺成均匀分布在基板上的光致抗蚀剂。蒸发速率可以根据蒸发源的速度和蒸发源抽取的热能量来控制。该机还具有脉冲调谐功能，可调节脉冲频率和脉冲宽度，从而提高光刻胶的分辨率。此高级功能提高了工具的灵活性,并且可以进行调整以满足不同的工艺要求。该资产设计用于标准的单室光刻材料，如DUV（Deep UV）和I-Line光刻胶。它能够处理广泛的基材，包括硅片、玻璃、石英和金属。该模型旨在提供可靠和可重复的结果。它具有质量监控设备，可以校准和不断调整脉冲调谐参数，以确保准确的结果。它还具有一个集成系统,可帮助用户轻松监控和管理制造过程。单位也是可伸缩的，因此可以适应不同的需求。FSI Mercury OC提供了一种高效、准确的光致抗蚀剂处理方法。其设计多种多样，可调节的设置提供了灵活性和可靠性，以确保光刻胶的成功处理。该机具有均匀沉积、高度可控的热源以及对脉冲调谐参数的精确控制等优点。此工具适用于各种应用,并确保可重复和可靠的结果。