二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9281186 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC是一种先进的光刻设备。光敏材料是一种光敏材料，用于通过光刻在基板上创建电路图样等特征。FSI Mercury OC系统利用最新的光学日冕技术，在薄膜层的图样（如微电子制造中使用的图样）上提供卓越的分辨率。TEL Mercury OC单元由三个模块组成-一个主单元、一个预定位单元和一个曝光头。主单元为三轴活动级，能够处理尺寸达900毫米的基板。由于其先进的设计和包括三个高精度伺服电机系统，这一单元提供了精确的位置精度和可重复性。预定位装置是用于制备光刻胶的专用机器。它可以精确测量光敏材料的厚度，并为曝光过程设置最佳参数。这个单元设计用于具有精确和可重复的吞吐率，并且可以处理各种各样的基板如晶圆和平板。曝光头是一种光学工具，具有两个高分辨率透镜和一个紫外线激光器。该单元能够精确地绘制各种厚度和长宽比的光刻石层图样。也可用于大晶圆和平板的高分辨率和高通量处理。TOKYO ELECTRON MERCURY OC光致抗蚀剂资产在图案化薄膜层时提供卓越的分辨率和质量。该模型允许精确定位特征，并支持广泛的光刻胶和基材。此外，其先进的光电晕技术在处理大型晶片和平板时提高了速度和吞吐量。由于其准确、可靠、可重复的性能，水星OC光敏设备是制造高科技电子及相关元件的首选。