二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9030479 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种光致抗蚀剂设备，设计用于高精度地将UV和Visible光精确地暴露在半导体和其他材料上。它具有高度可靠的紫外线暴露系统，具有出色的一致性，可用于各种基材。它还具有激光对准功能，除了一个可移动的舞台，用于精确的图样和强化/散射。FSI Mercury使用高精度自旋涂层，使光刻胶能够在基板上精确且均匀的涂层。这种装置具有特殊的特性,例如用于可变旋转速度和温度控制的控制器,例如,用于旋转前的基板加热。与自旋涂层配对的晶圆级具有200毫米晶圆的容量。TEL Mercury的DUV（深紫外线）光源是专门为达到高水平的曝光精度而设计的，并提供了广泛的功能，包括用于均匀曝光的光密度调整机。它的定位工具确保曝光目标准确对齐，以获得最有效的结果。水星的光源还具有快门功能，旨在减少曝光系统之间的串扰。与位于资产底部的CCD图像传感器一起,可确保实现清晰且可重复的曝光。3轴控制器和自动调平台进一步为曝光提供了稳定的基础而不会出现摆动。此外，TOKYO ELECTRON MERCURY有一个敏感且精确的扫描和图样化控制模型。它可以实现大小和形状的快速阵列化,从而能够高效、准确地生成片上阵列。总体而言，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是光刻和扫描过程中一种有价值和有效的光刻设备。它提供精确可靠的模式曝光,具有卓越的控制和广泛的特点.该系统是提供高质量结果的可靠工具，是半导体和光掩模制造的理想选择。