二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9065484 待售

FSI MERCURY是一种最先进的先进光刻设备。光致抗蚀剂用于选择性屏蔽或暴露硅基或其他类型光学表面的区域，以形成集成光学元件。MERCURY是一种具有电子束稳定性和分辨率的热稳定高级质子束光致抗蚀剂。FSI MERCURY光致抗蚀剂系统由两层涂层配制化学、两层平面化顶层涂层、两层旋转曝光后加固涂层和两层介电涂层组成，以提高反射率。制剂化学主要由两种成分组成：光引发剂和抗性制剂。光引发剂产生抗蚀剂形成所必需的反应性物种，而抗蚀剂配方充当决定光抗蚀剂特性的粘合剂。通过控制这两种成分的浓度，可以达到光致抗蚀剂的理想分辨率。两层平面化的顶层涂层在暴露于光致抗蚀剂时会形成平坦的平面表面。该层提高了光刻胶图样的分辨率和图样保真度。双涂层自旋曝光后加固涂层增加了顶层涂层的平面化效果，增加了光刻胶的光硬化，也提供了额外的平面化效果。双涂层介电涂层提高了图桉化光敏层的反射率，提高了光学元件的精度。MERCURY光刻胶单元具有很好的分辨率和图样保真度，并且允许亚微米曝光光刻胶。它具有低吸收系数和低蚀刻系数，非常适合复杂的集成光电路和微光学等多种应用。FSI MERCURY光刻机坚固耐用，热稳定，非常适合工业应用。它还具有良好的附着力和耐蚀刻性能，非常适合长期可靠性和可重复性。MERCURY光刻器具成本效益，提供稳定性和可靠性，是先进的集成光学设备的理想之选。