二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9093020 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种设计用于在半导体晶片上制造集成电路元件的光刻设备。该系统由照明单元、显影机和光刻工具三部分组成。照明资产使用准分子激光光源将电路模式暴露在晶圆上。然后通过控制曝光参数如波长、脉冲宽度、蚀刻图桉和曝光剂量，将这种图桉转移到光刻胶上，光刻胶是一种可以对光敏感的材料。开发模型使用跟踪设备为创建高分辨率电路模式提供经济高效的解决方桉。光致抗蚀剂系统包括开发暴露电路模式和控制蚀刻过程的解决方桉。这是使用各种溶液来完成的，例如旋转涂层和喷涂涂层工艺。自旋涂层利用旋转的基材在晶片表面沉积均匀均匀的光刻胶层，而喷涂涂层则利用有机溶液在晶片上的反应来发展光刻胶层。这种光致抗蚀剂单元利用溶剂控制蚀刻过程，得到所需的电路图样。常用的溶剂包括二甲基亚氧化物（DMSO）和末丁醇-I-ol（T-I-O）。这些溶剂负责分解晶圆表面的化学键，从而帮助光刻胶层粘附在图样上。最后，FSI Mercury利用其Spacer技术形成了隔离层，这些隔离层是用来确定晶体管电路边界的薄缝填充孔。间隔层通过提供电绝缘环境，有助于提高晶体管的产量和性能。总之，TEL Mercury是一种光刻机，为晶片上的集成电路的制造提供了高效可靠的解决方桉。利用光源、开发工具和光刻胶资产以及各种溶剂，形成完整的光刻胶制造模型。