二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9116685 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一款由FSI Corporation开发的先进光刻设备。它旨在以最高的速度和精度处理大型、高度复杂的集成电路的制造。该系统结合了先进的光刻、沉积、蚀刻和计量工艺，配有广泛的基材和涂层材料。这使得它成为生产用于当今技术最先进设备的高密度半导体的理想工具。FSI Mercury结合了灵活的工具平台,可适应不断变化的电路设计,提供性能的可扩展性和可预测性。它有一个先进的多功能光刻单元，从图像输入到机器的那一刻起就精确处理图样。该工具的设计特点尺寸为0.25微米或更小,精度为+/-3nm。这种提高的精度允许生产更平滑、更小的功能。TEL Mercury中工艺的沉积部分提供了广泛的材料，包括铝、铜、钴、钛和类金刚石碳（DLC）等金属。它还包括保形沉积系统，能够沉积高度均匀和保形的薄膜，不需要均匀校正。这在创建3 D结构时提供了更高的准确性。蚀刻过程利用电感耦合等离子体（ICP）技术，创造出高选择性和保形性。这样可以以最小的失真产生各种特征和结构。它还支持先进的定时技术,对过程进行严格控制,从而实现可靠的生产。最后，水星的计量过程允许精确测量零件和薄膜。它包括高分辨率扫描电子显微镜（SEM）、近场扫描光学显微镜（NSOM）、原子力显微镜（AFM）以及其他多种工具。所有这些都旨在提供有关设备特性和性能的精确反馈。总之，TOKYO ELECTRON MERCURY是提供高性能、可扩展性和可预测性的先进光阻资产。它结合了广泛的先进光刻、沉积、蚀刻和计量过程，以及高度的可编程性，为工程师提供了生产复杂集成电路的强大工具。