二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120351 待售

FSI MERCURY是一种光刻设备,专为高小型化元件特性的高效光刻而设计。该系统基于先进的DUV数字光刻技术，由准分子激光照明单元、全光学成像机、自旋涂层和自旋干燥机组成。准分子激光照明工具产生一个短波长的曝光图样，用于在光刻涂层基板上创建精确、一致的图样。此资产可以产生具有亚微米分辨率的模式,可用于高度复杂的3D组件。MERCURY模型的全光成像设备提供与传统光照射系统相比功率和分辨率更高的光阻涂层晶片的均匀精确照明。集成的自旋涂层和自旋干燥机提供均匀的自旋涂层和干燥工艺，使生产具有最佳的薄膜厚度和精确的表面均匀性。这种高科技组件的组合使FSI MERCURY能够创建模式保真度更高、性能更高的模式。MERCURY的光刻胶系统即使在薄层上也能产生具有可接受缺陷率的高精度特徵。它的设计允许使用多种材料，包括金属、聚合物、塑料和玻璃等多种材料。该单元可支持多种光刻应用,从接触到孔再到3D图样。该机使用方便，提供优异的缺陷分析能力。通过使用精确的掩蔽和自动曝光扫描，可以实现亚微米工艺控制。精确的反馈控制和多层的自动曝光以及各种阵列和优化选项进一步提高了准确性和效率。诸如此类的高灵敏度光刻胶系统为移动电话摄像头、光学元件和集成电路等更具挑战性的技术提供了出色的分辨率、均匀性和缺陷降低。FSI MERCURY的精密光刻工具是3D元件光刻的绝佳解决方桉，具有高精度和重复性。