二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120352 待售

FSI MERCURY是专为宏观电子和半导体应用而配制的专有光刻设备。它是一种具有抗蚀性的聚合物的薄膜，能够释放或捕获将所需的图样转移到物理基板所需的能量。该系统由基础液体-光刻材料与显影剂和辐射相结合，允许在电路制造中传输电路或组件的图像。这种光致抗蚀剂单元有各种配方，适合在多种基材上使用，如铝、铜、玻璃、硅、半导体、砷化的和石英。当暴露于紫外线（UV）辐射下，MERCURY抵抗聚合物分解，产生蚀刻图像。该材料还具有较高的横向阻力，从而防止了底切或分层。FSI MERCURY利用了几层特殊性成分，使其性能优于其他光致抗蚀剂。机器以聚合抗蚀剂材料开始，又称薄膜。该膜通过旋转涂层工艺应用于基板上，并通过紫外线照射固化，以提高膜质量。另外，还使用额外的辐射将所需的图样暴露在预先涂层的晶圆上。一旦抗蚀剂暴露出来，就可以用串联的粉碎机来回收未暴露的抗蚀剂膜，通过氟基固化工艺，形成永久性的结合。这使得它很容易被光刻蚀刻。至于后发展阶段，必须将裸露的材料洁净剥去，留下高分辨率的影像。MERCURY光致抗蚀剂工具还包括一个高质量的开发者，帮助提供在举起接触面罩时保持分辨率和质量的最佳解决方桉。这样可以确保底层基板不会因蚀刻过程而损坏。综上所述，FSI MERCURY是一种薄膜抗蚀剂资产，它利用多个组件和过程将图像传输到基板上。MERCURY凭借其先进的技术和众多的好处，如灵活性、成本效益和卓越的分辨率，为宏观电子学和半导体应用提供了最佳解决方桉。