二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9137915 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种光刻设备，用于光刻工艺生产半导体芯片。它采用深紫外线（DUV）抗蚀剂，设计用于光刻步进器。该系统由一个闭环处理单元和一个自动机器控制器、一个透明储罐和一个精密的自旋涂层组成。该刀具控制器的设计满足了一系列晶圆尺寸和生产量的需求，能够精确、精确地控制自旋涂层。控制器链接到一个集成的流程数据库，该数据库可以优化每个应用程序的流程变量。此外，该资产具有很高的结果可重复性，每个晶片具有出色的调平精度和均匀性，从而确保了产量和质量的一致性。该模型的储层是一个透明的、低压的硅胶储层，具有精确设计的传输体积，适合自动薄膜应用。易于维护，使其能够用于各种薄膜类型，如稀释树脂和有机溶剂的使用。自旋涂层是一种用于纺出薄膜的高精度装置，它包含一个硅胶蛋糕，借助晶圆上的水平纺丝，使薄膜均匀。此外,控制器还连接到旋转涂层,从而可以针对每个应用对诸如速度、压力和时间等参数进行精确调整。整个设备设计为提供紫外线（UV）成像，用于各种薄膜、抗蚀剂、电介质和金属的图桉。它为单层和双层电介质提供了卓越的性能，同时也允许双图案和精确蚀刻选择。该系统还包括不同类型的涂料技术，如喷涂和自旋涂料，适用于所有类型的基板。这使得该单元能够用于各种过程，从大规模生产到研究和测试应用。FSI Mercury是一款高度先进的自动化光刻机，与传统的光刻系统相比，性能得到了提高。它具有最大的灵活性,并使用户能够在单个设备上执行复杂的阵列设计过程。