二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9157620 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是为大体积光刻应用而设计的多功能、高精度光刻设备。它是一个集先进光刻和加工技术于一体的多合一系统，包括立体光刻、散射还原、CD控制和蚀刻。FSI水星装置为精确、高质量的工艺提供高分辨率和稳定性。该机器具有专有的扫描工具和高分辨率曝光功能,可实现精确、高速曝光。它还具有Turbine Computer-Aided Manufacturing （TurboCAM）软件,该软件能够创建快速的逐层光刻模式。TEL Mercury还提供高级曝光后处理功能。这包括一个多阶段提前干燥资产，防止污染物和污染物衍生的缺陷。它还具有高性能的旋转器，用于优化自旋速度和自旋方向等参数，以实现更大的润湿覆盖率和出色的均质膜厚度。这种广泛的处理选择显着提高了生产率,同时提供了一致的结果。水星还提供卓越的工具性能。它具有高精度的自动对焦模型，自动补偿地形修改，如晶圆形状、表面曲率和高度的变化。这样可以确保最佳的图像精度和随时间推移的稳定性。该设备还提供先进的工艺控制能力，如高精度控制暴露剂量和CD均匀性监测系统，以识别甚至较小的不均匀性。总体而言，TOKYO ELECTRON MERCURY光刻装置是需要高精度和稳定性的高容量光刻应用的绝佳选择。它提供卓越的工具性能、先进的曝光后处理功能,以及对曝光剂量和CD均匀性的出色控制。其种类繁多的处理选项可带来更高的生产率和一致的结果。