二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9199857 待售

FSI MERCURY是一种光刻设备，设计用于生产用于制造集成电路（IC）的大型光刻掩模。该系统使光刻过程能够以高精度和具有成本效益的方式完成。这种光敏装置采用微镜投影技术设计，以确保相当程度的线条柔韧性和间隙控制。可编程掩码写字机产生150 nm的特征大小，最多可存储8K设计。薄膜层的尺寸精度在+/-7.5nm以内,50 mm器件的尺寸精度在+/-0.5%以内,直径200 mm器件的尺寸精度在+/-0.2%以内。它是一种全自动工具，可以快速轻松地将一种设计转换为几种不同的口罩。可靠的MERCURY资产在为大型集成电路生产平版印刷版面膜时可实现精确的控制和准确性。它由使用发光二极管（LED）控制光刻过程中曝光量的光掩模模型组成。该设备采用光透射光栅和高反射性涂层的组合，以确保面罩的特性和与基板的精确匹配以及设计规格。FSI MERCURY系统还利用计算机控制的光束写入单元来确保精确定义边缘和形状。该机还具有独特的自动调谐功能，便于面罩设计与基板层的预期特性精确对齐。最后,MERCURY工具内置了QC选项,用户可以快速有效地确定完成的掩码的完整性。这有助于确保为集成电路制造只生产质量最高的掩模。FSI MERCURY具有很高的精度、可靠性和成本效益，是集成电路生产必不可少的工具。