二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9205483 待售

FSI MERCURY是为微米级特征尺寸分辨率而设计的先进光刻设备。它是一种高灵敏度、高分辨率的系统，能够以高度的生产精度和可重复性对光刻胶进行精细的制图。MERCURY单元由几个不同的组件组成，包括光刻机、照相喷射器和精密石英级。光刻机是机器内部的核心技术，它使用数字编码的光学器件提供各种与设计电路精确匹配的图像尺寸。然后，照相喷射器使用复杂的算法将设计图像以高分辨率投射到石英级，从而使光刻胶在基板上形成精确的图样。石英级也是FSI MERCURY工具的重要组成部分。它提供了非常精确的可重复运动，这对于控制光刻胶曝光中的特征大小至关重要。此外，石英级建在安装在空气轴承上的框架上，提供卓越的运动控制和稳定性。石英级使MERCURY能够在不同的光投射器和基板上实现高重复性和高精度水平。FSI MERCURY的另一个优点是它能够同时储存多达20种工艺配方，以便快速成型。这样可以更快地开发新设备和生产过程。最后，MERCURY拥有一系列支持和监测软件，以确保产量高。此软件有助于将生产成本降至最低,提高吞吐量,并提供详细的过程质量信息。此外，它是由安全互锁资产保护的1 M级激光安全装置，以确保模型的安全运行。综上所述，FSI MERCURY光刻胶设备为高精度图样和亚微米特征尺寸分辨率提供了一个绝佳的解决方桉。它具有自动化的工具、石英级的高惯性和坚固的安全互锁系统，是许多微电子应用的理想选择。