二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9207178 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY光致抗蚀剂设备是来自FSI的前沿抗蚀剂管理解决方桉,有助于实现批量生产和最先进的光致抗蚀剂处理及成像控制。FSI Mercury系统为用户提供了一些好处,例如提高了曝光的均匀性,更好地控制了模式配置文件,提高了产量和吞吐量,提高了工艺可靠性。TEL Mercury单元利用先进的光学传感器实时测量和记录各层光刻胶和图像结构的特性。这些数据被送入一个高速算法，根据发现调整抵抗参数（如厚度、电阻率等）。这样可以定制抗蚀剂以表示客户和流程的确切要求。此外，TOKYO ELECTRON MERCURY机器允许用户通过集成高度敏感的数据分析工具来监控每一次新曝光或涂层对打印过程的影响。这允许用户识别结构中的任何意外变化,例如厚度和电阻率,以及整体打印均匀性。Mercury工具的高级自动化功能可确保所有批次,甚至具有最具挑战性模式的批次,都能可靠地、准确地处理和成像。该资产能够控制精细图桉（包括多间距模式）的由内而外打印,从而实现高效、精确的精细专用投影。此外,当检测到意外波动时,模型调用并实施纠正措施,以确保生产的所有阶段都处于控制状态。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury设备也为用户提供额外的实时屈服模拟。此功能有助于提供可立即预测和执行的详细状态和预测更正。这有助于确保优化流程,并在所需范围内打印任何图桉。总体而言,FSI Mercury光刻胶系统是一种高效、先进的产品,可为用户提供更好的曝光均匀性、更好的模式配置文件控制和改进的工艺可靠性等优点。该单元非常适合薄膜工艺、电子器件制造、平板显示器生产等先进的光刻应用。