二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9223674 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种用于半导体晶圆製造的光敏设备。它是一个高度精确的系统，利用多种光学技术在晶圆上形成高分辨率图样时允许精确的光刻效果。该装置采用先进技术进行大规模生产，适合制造经济上可行的装置。该机融合了多种不同的元件和技术。它们包括一个扫描头，用于控制晶圆表面的激光光斑大小；具有独立功率控制和频率补偿的短脉冲激光二极管阵列；用于控制过程的模型控制计算机；还有一个真空室。这个工具还有一个集成了氧氮气体输送资产的化学室。所有元件均由三轴运动控制器集成,使模型能够在晶圆上的预定位置上精确放置激光束。光致抗蚀剂设备的光学性能对精确地形成所需的图样起着重要作用。数字光掩模与激光二极管结合使用，在晶片上产生光束图桉，然后暴露于光敏材料。然后开发出裸露材料，在晶片上基于激光二极管图样产生蚀刻图样。除光学元件外，系统还包含一套化学辅助蚀刻技术。这些技术旨在为蚀刻不同类型的材料提供多种不同的选择。例如，各向同性蚀刻可用于蚀刻均匀或各向异性特征，而反应性离子和等离子体蚀刻则可用于创建较小、复杂和高分辨率的图样。FSI Mercury是一个创新的摄影工具，帮助半导体行业创造复杂的电子元件。它提供了一个坚固、可靠、准确的单元，适合制造经济上可行的设备。此外，这台机器能够不断提高精度和分辨率，越来越精确和复杂的技术。这种光致抗蚀剂工具能在多种材料中产生高分辨率特征，导致半导体工业的生产时间更短，成本更低。